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智云微电子第三十二厂,这是目前智云微电子旗下技术最先进的逻辑芯片工厂,部署了大量当下最顶级的各类半导体设备,光刻机,蚀刻机等数百种设备,全都是当下最顶级的。
要么是属于全球超一流的技术水平,要么就是属于全球一流的技术水平。
在这家工厂里,根本找不到全球二流水平的设备……因为二流设备的水平,也不足以满足等效五纳米工艺的生产。
其中最为核心,也是最昂贵,同时也是技术最先进的EUV光刻机了!
HEUV-300C光刻机,拥有一点五纳米的套刻精度,这个精度足以让这款光刻机在单次曝光的情况下,就能够满足等效七纳米乃至等效五纳米工艺的量产,并且每小时的产能能够达到一百八十片,其生产效率大幅度优于上一代的HEUV-300B型光刻机。
目前这款光刻机是属于目前人类最顶级的量产型光刻机之一……之所以说是之一,那是因为荷兰ASML也拥有同级别的光刻机。
但是这两款光刻机镜片技术上有巨大的差异,海湾科技在EUV光刻机上采用的是双面反射透镜,其特征就是大幅度减少极紫外光的吸收,大幅度增加了极紫外光能量利用率,进而大幅度减少功耗,而且也降低了对光源的功率技术要求。
因为物理极限以及目前的材料学水平,极紫外光每次被镜片反射的时候,都会被吸收大约百分之三十左右的能量,因此反射镜用的越少,极紫外光的能量利用率就越高。
海湾科技用的双面反射镜系统,对比荷兰ASML的六面反射镜系统,物镜系统工程难度更低,光源系统技术难度更低,制造成本也低一些,维护也更容易,然后还有个最明显的特征,那就是耗电量更低,大概只有百分之十左右。
当然,对于对于先进工艺的芯片生产成本而言,电费成本占比不高。
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